VUV-F型平板用超聲波干洗機

VUV-F型　寫真

兩側(cè)可同時清洗，

風機體積小，節(jié)省空間，價格便宜。

VUV-F 面板清潔器具有橫截面與真空/超聲波壓力/真空對齊的結(jié)構(gòu)。通過在我們獲得磚利的 UV 類型中添加真空，進一步提高了性能。

功能/效果

干洗店可以去除 100% 的 3 μm 灰塵。

由于空氣平衡良好，因此可以面向頭部同時清潔兩側(cè)。

非接觸式不會對基板表面造成損傷。

▲ 到本頁頂部

除塵試驗及其結(jié)果

這是在內(nèi)部潔凈室（100 級）中的測試結(jié)果。

100% 的 3 μm 微粒被去除。

(排氣壓力14kpa)

測試條件

● 基材：液晶顯示器用玻璃基板（250mm x 250mm x 1.1t）

● 灰塵： 3μm 間隔珠（干噴）

● 傳輸速度： 50mm/秒

● 評估方法：表面檢查裝置（GI-4600）

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