日本MIKASA米卡薩株式會社 日本MIKASA株式會社中國代理: MIKASA光刻機(jī).旋轉(zhuǎn)塗鈽機(jī)，真空泵日本MIKASA株式會社中國代理: MIKASA光刻機(jī).旋轉(zhuǎn)塗怖機(jī)，真空泵日本MIKASA株式會社中國代理: MIKASA光刻機(jī).旋轉(zhuǎn)塗鈽機(jī)，真空泵 半導(dǎo)體制造工序中的Mikasa半導(dǎo)體設(shè)備

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晶園、洗滌**晶園表面的臟污及

各種金屬離子、成膜

在高溫擴(kuò)散爐中，形成、表面氧化膜

電路圖案設(shè)計、運(yùn)用CAD制作布局、布線

設(shè)計圖。制作光掩膜

將電路圖案沖印到中間掩、模上(原版照片)

光刻膠涂布、將光刻膠(感光材料)涂抹到晶

圓表面，形成厚度均一的薄膜。

旋轉(zhuǎn)涂膜儀(P4~P11) 將光掩膜與晶園重合，復(fù)制電路

圖案。

光刻機(jī)(P13~P15)

可選組件

顯影、去除曝光部位(正膠)的光刻膠。

顯影裝置(P17. 18)、蝕刻

通過腐蝕氧化膜來蝕刻電路。

蝕刻裝置(P19)

離子注入/濺射

向晶園注入離子(混雜物)
滴液裝置可選組件 吸盤

●MS-B100/ MS-B150

●MS-B200

●MS-B300

●MS-B200 (密閉型)

●MS-B300 (密閉型)

日本MIKASA光刻機(jī)
MA-10

●MA-20

●MA-60F

●M-2LF

●M-1S

日本MIKASA曝光，將光掩膜與晶園重合，復(fù)制電路圖案。
日本MIKASA顯影、蝕刻裝置DeveloperEtching
日本MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)MS-A150/MS-B150現(xiàn)貨現(xiàn)貨旋轉(zhuǎn)涂膜儀

去除曝光部位(正膠)的光刻膠。
●AD-1200

●AD-3000

●PD-1000

日本MIKASA蝕刻裝置
蝕刻裝置

●ED-1200

●ED-3000

日本Mikasa為半導(dǎo)體制造工序提供支持的Mikasa備齊光刻膠涂布、曝光、顯影、蝕刻等半導(dǎo)體制造前段工序所需要的裝置后，提供一站式服務(wù)。另外，為旋轉(zhuǎn)涂膜儀的所有機(jī)型準(zhǔn)備了替代用機(jī)，可在發(fā)生故障時盡早應(yīng)對，且在銷售后提供快捷周到的售后服務(wù)。針對研究過程中所發(fā)生的一系列問題，也可在現(xiàn)場提出解決建議。與客戶共同探討在哪個工序出現(xiàn)了問題、應(yīng)如何改進(jìn)等等，從而得出解決建議。Mikasa 作為一個可在半導(dǎo)體方面進(jìn)行共同商談的咨詢顧問不僅銷售設(shè)備，而是為客戶半導(dǎo)體制造的整體工藝流程。將光刻膠（感光材料）涂抹到晶圓表面，形成厚度均一的薄膜。

日本Mikasa為半導(dǎo)體制造工序提供支持的Mikasa備齊光刻膠涂布、曝光、顯影、蝕刻等半導(dǎo)體制造前段工序所需要的裝置后，晶圓涂抹提供一站式服務(wù)。

日本Mikasa 半導(dǎo)體用設(shè)備 旋涂機(jī)

MS-B100

MS-B150

MS-B200

MS-B300

MS-B200

密閉型MS-B300

密閉型MA-20

MA-10B

MA-60F

M-2LF

M-1S

AD-1200

AD-3000

ED-1200

代 理日本各類工業(yè)品：SSD，東日技研，TRINC高柳特林科，SIMCO，KIKUSUI菊水，TSUBAKI椿本，SHOWA DENKI昭和電機(jī)，MALCOM馬康 ,TML東京測器,TOE東京光電子，TRUSCO，HIOS，HOZAN，METCAL，HAKKO，淀川電機(jī)，USHIO，CCS，三英，MUSASHI武藏，MEISEI，OPTEX，東機(jī)產(chǎn)業(yè)，高砂，IMRO，KITO，TOMIX，KURABO，MORITEX等日本SAN-EI TECH三英，MUSASHI武藏點膠機(jī)，Nordson諾信EFD，IEI巖下，aicohsha愛工舍ACM（特殊立式攪拌機(jī)），KLEENTEK可濾特，ASAHIKASEI旭化成，TAGAWA十川工業(yè)軟管，YODOGAWA淀川電機(jī)，MALCOM馬康，USHIO牛尾點光源，SHOWA DENKI昭和電機(jī)，TSUBAKI椿本鏈條，morite茉 莉特鏡頭，KIKUSUI菊水電源，HOZAN寶山，TRUSCO中山，cedar思達(dá)，MEISEI邁澤（電熱剝線器）、SANKO山高（金屬探測器、膜厚儀）、TAKASAGO高砂制作所（直流電源）MITSUBISHI三菱 （UPS電源、PLC自動化）、CCS光源（視覺光源、檢查光源）、Tsubosaka壺坂（燈箱、光度計、輝度箱、光源）、POLARION普拉瑞（探照燈、HID強(qiáng)光燈、檢查燈）AITEC艾泰克（檢查光源）、Iwasaki巖崎（金鹵燈、HID燈、UV燈）、OTSUKA大塚電子（光學(xué)膜厚儀、相位差測試儀、粒度儀）、KOSAKA小坂臺階儀、HORIBA堀場儀器、cosmo科斯莫、MITAKA三鷹光器、SIBATA柴田科學(xué)、RIKEN 理研、TORAY東麗濃度儀、RION理音、ACCRETECH東精精密、HOKUTO DENKO北斗電工、SANYOSEIKO山陽精工、日本IMV愛睦威地震儀、TML東京測器、TOE東京光電子、GRAPHTEC圖技、SIGMAKOKI西格瑪光機(jī)、FLOWELL 福威、ASAHI旭有機(jī)材、LUCEO魯西歐（表面應(yīng)力儀、偏光應(yīng)力儀）、KYOWA共和（應(yīng)變片、壓力傳感器）、ONOSOKKI小野測器（傳感器、檢測儀）CKD（氣動元件、電缸）、FUJIKURA藤倉（單向閥、泄壓閥、摩擦氣缸）TOKISANGYO東機(jī)產(chǎn)業(yè)（粘度計）、ASKER高分子計器（橡膠硬度計、試驗機(jī)）SK新瀉精機(jī)（水平尺、水平測量儀器）SKSATO佐藤（溫度計、溫度記錄儀）、上海一恒儀器 （恒溫箱、烘箱、）、TECLOCK得樂（硬度計、千分表）、AND愛安得（電子天平、工業(yè)天平）、KEM京都電子（水分儀、自動電位滴定儀）、TOHNICHI東日（扭力扳手、螺絲刀）KANON中村（電動螺絲刀、扭力工具）、Heishin兵神（泵、點膠機(jī)）、KOKUSAN科庫森離心機(jī)、TOKKYOKIKI特許機(jī)器抗震臺、ULVAC愛發(fā)科泵、IWAKI易威奇（泵）、kashiyama柏山（泵）、MARUYAMA丸山（泵）、日本Yamato雅瑪拓、AMAYA天谷制作所、YUASA湯淺（柔性屏彎折試驗機(jī)）、SIMCO思美高，SSD西西蒂，DIT東日技研，KASUGA春日，TRINC高柳（靜電儀器設(shè)備）、Kanetec強(qiáng) 力（磁力設(shè)備、高斯計）、ASONE亞速旺（實驗室儀器、車間穿戴裝備）、SAKURAI櫻井（無塵紙、熱敏紙）、Nitto-Kohki日東工器（快速接頭）、NIRECO 尼利可（電動執(zhí)行器、傳感器）、TOFCO東富科  （流量計）、eoptics頤光科技（反射膜厚儀）、Filmetrics優(yōu)尼康（膜厚測量儀）、TOKYO KEISO東京計裝（超聲波液位計、超聲波流量計）、RKC理化工業(yè)（數(shù)字顯示控制器、溫度傳感器）、YAMATO雅瑪拓（恒溫箱、噴霧干燥器）、YAMADA雅瑪達(dá)（隔膜泵、往復(fù)泵）、KOFLOC小島（質(zhì)量流量控制器、浮子流量計、控制閥）、KITZ開滋（閥門）、CKD喜開理（氣缸、氣缸開關(guān)）、AMANO安滿能（集塵器、空氣凈化器、工業(yè)清掃機(jī)）、NYS株式會社西村化工（半導(dǎo)體、FPD、 電子部件）、MARUYAMA丸山（柱塞泵、高壓水泵）

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